シリコン半導体による大規模集積回路（lsi）が産業として大きく発展した理由の一つは， 高純度で無欠陥なシリコンバルク単結晶を，比較的安価に大口径で大量生産できる技術が確 シリコンウェーハ技術専門委員会での実験を伴う検討結果基づいて，日本からSEMI M1.15 300mm規格改 正の提言を行い，世界的な統一標準仕様の確立を目指した。当規格の1996 年の改正における解説には … 技術者達は、過去の偉人達に挑戦し続け、乗り越え、革命を起こします。 そして、その挑戦に必ず必要なのがシリコンウェーハの進化です。 社会の進展、人類の進化のためのあらゆる技術革新に貢献する企業であるために、sumcoは、挑戦し続けます。  新品ウェーハ用のプロセスが転用できる5）。 図1に示した再生プロセスにおいて，銅汚染を起こし 2 KOBE STEEL ENGINEERING REPORTS/Vol. 図1 ITRASロードマップ（2003年版） 題 の 技 術 話 65ナノ時代のシリコン材料技術 Amazonで服部 毅, 北島 洋, 山本 秀和, 嵯峨 幸一郎, 福田 哲生, 清水 博文, 足立 元明, 奥山 喜久夫, 山川 洋幸, 斉藤 昭男, 稲葉 仁, 滝山 真功, 森永 均, 鈴木 浩助, 嶋崎 綾子, 宮崎 守正, 籔本 周邦, 北野 友久, 服部 毅の新版シリコンウェーハ表面のクリーン化技術。 シリコンウェハー世界ランキング. 1約cm角のlSiは、直径30cmの丸い円盤状のシリコン ウェーハから作られます。lSiの中に作りこまれるトランジ スタの加工寸法は、最先端で50nm（ナノメートル*1）をきる 超微細レベル。この技術が一つのlSi上に数億個ものトラン ジスタの集積を可能にしています。 2007） ＊技術開発本部 機械研究所 ＊＊Kobe Precision Inc. 銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発 シリコンウェーハ表面の分析評価技術 第1節 ウェーハ表面のパーティクル汚染の計測・分析技術 1．はじめに 2．ウェーハ上のパーティクル計測 2.1 鏡面ウェーハ上のパーティクル計測 2.1.1 パーティクル計測の原理 2.1.2 パーティクル検出の高感度化 シリコンウェハの製造技術は成熟してはきたが、まだ多くの開発課題を残している。近年の品質要求の中心的なものとして、低欠陥化・高平坦度化が挙げられる。 低欠陥化については、結晶育成時に結晶内に生成するCOP（Crystal Originated Particle）の低減化がある。COP

57 No. ウェーハ表面のクリーン化の重要性 4 シリコンウェーハ表面の分析評価技術 第1節 ウェーハ表面のパーティクル汚染の計測・分析技術 1.はじめに 2.ウェーハ上のパーティクル計測 2.1 鏡面ウェーハ上のパーティクル計測 2.1.1 パーティクル計測の原理 2.1.2 パーティクル検出の高感度化

2章 シリコン結晶技術 （執筆者：梅田浩司） [2010年4月 受領] 概要 . 大口径化の進むシリコンウェハ：生産性の大幅な向上を目指して！ デバイスの微細化の進展にともない、シリコンウェハに対する品質要求も厳しくなっている。シリコンウェハの製造技術は成熟してはきたが、まだ多くの開発課題を残している。 ており、ウェーハメーカーにはウェーハ最外周まで 含めた超平坦加工技術の開発が望まれている。 6 図2 リソ対応の平坦度（SFQR）とCMP対応Nanotopo. はじめに 3 《第1章》 2. シリコンウェーハ表面のクリーン化技術; 目次 《第1章》 序論 【服部毅】 《第1章》 超lsi製造におけるクリーン化技術の現状と将来-シリコンウェーハ表面からの視点で-《第1章》 1. シリコンウェーハは、高度な技術で作られた薄い円盤状の素材で、様々な直径（1インチから300mmまで）で製造されており、殆どの半導体デバイス（チップ）の基板材料として使われています。 半導体業界同様、 シリコンウエハーの業界も非常に浮き沈みが激しく、そのプレイヤーは毎年のように変化しています。 毎年のように業界再編の声が聞こえ、需要の上下を無視して単価値下がりのニュースが世界中をかけめぐります。 1（Apr.

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